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[소자 정리] MPW, TSV 공정, Leakage 정리

++MPW (Multi Project Wafer)웨이퍼 하나에 여러 개의 프로젝트를 함께 넣는 것. 보통 반도체 설계를 하여 칩으로 만들기 위해서는 하나의 웨이퍼를 기준으로 칩을 찍어내야 하는데 이 웨이퍼에서 칩이 나오기 위한 가격이 수억으로 일반 벤처기업에서 칩 한번 찍기가 어려움. 이를 개선하기 위해 처음 설계하고 생산하는 칩을 시스템 레벨에서 테스트용으로 뽑아 보는 웨이퍼를 의미. (팹리스 회사가 이용) ++TSV(Through Silicon Via): 와이어를 이용해 칩을 연결하는 대신 칩에 미세한 구멍을 뚫어 상단 칩과 하단 칩을 전극으로 연결하는 패키징 기술로 속도와 소비전력을 크게 개선할 수 있음. 또한, 와이어 공간이 필요 없어 집적도가 올라감. -구멍 RIE-Bash 공정++Legacy ..

반도체/Wafer 및 소자(Device) 기초 2024.09.02
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ionimplantation, react, ald, 평탄화, 산화공정, 이온주입, 증착공정, sio2, Annealing, 산화막, mbcfet, cleaning, cmp, 이온주입공정, 세정공정, Sims, Deposition, STI, 금속배선공정, bspdn,

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