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[Short Channel Effect] Short Channel Effect, SCEs

Short Channel Effect (SCEs) :여러가지이기 때문에 주로 복수형으로 사용MOSFET을 미세화 하면서 발생하는 단점. 소자의 목적 - Vg에 의해서만 Current가 제어되는 것! 대부분 Drain 전압의 문제-미세화 장점: 속도 증가, 커패시턴스 감소, 원가 감소, 칩사이즈 감소.-미세화 단점 = SCE(1) Vth Roll OffChannel이 짧아지며 S/D Depletion 영역과 Channel 영역이 겹치게 되고, 겹치는 부분에서 Charge가 공유(Charge Sharing). 이 Charge는 채널이 짧아지면서 포함되는 비율이 증가하고, Depletion영역의 불순물 음의 값으로 되어 있기 때문에 Gate 전압을 크게 인가하지 않아도 쉽게 Channel 형성에 필요한 전압이..

반도체/Wafer 및 소자(Device) 기초 2024.09.02
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cleaning, 산화공정, cmp, Deposition, 금속배선공정, 평탄화, STI, 이온주입, sio2, 산화막, ald, react, 세정공정, 이온주입공정, Sims, bspdn, mbcfet, Annealing, 증착공정, ionimplantation,

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