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Threshold Voltage 1

[문턱 전압] 문턱 전압, Threshold Voltage

문턱전압(Threshold Voltage): Strong Inversion 상태를 만들 수 있게 해주는 최소한의 전압. (Switching Voltage)-구성요소 -문턱 전압 측정법1. Linear Extrapolation       2. Constant Current3. gm Method: I-V 그래프를 미분하여서 구하는 방법. -문턱 전압 조절 방법--  을 조절: 일반적으로 Metal 일함수를 조절 (Poly Si 사용, HKMG시 Metal 사용)NMOS는 일함수가 낮은 금속, PMOS는 일함수가 높은 금속을 이용 (Dual Metal Gate 공정) --기판농도 변경: 기판 전체의 농도를 변경하기보단 표면만 농도조절 (Vth adjust implant 공정)--Oxide  (커패시터 용량)..

반도체/Wafer 및 소자(Device) 기초 2024.09.02
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산화막, 이온주입공정, 금속배선공정, 평탄화, mbcfet, ald, 이온주입, bspdn, cleaning, Sims, ionimplantation, cmp, Deposition, 증착공정, sio2, react, 세정공정, 산화공정, Annealing, STI,

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